박막화 기술

이 책은 저자들이 요꼬하마 시립대학 대학원에서 박막화 기술교육에 종사한 경험과 40년에 걸친 박막 연구를 종합한 것으로

최근의 박막기술을 기초과학적 관점에서 추가하였다. 연조가 깊은 책이지만 새로운 기술서로 손색이 없다.

이 개정판은 저자들의 최근 요꼬하마 시립대학 대학원에서 박막화 기술교육에 종사한 경험과 40년에 걸친 박막 연구를 종합

한 것이다. 개정한 내용은, 제2판에다 최근의 박막기술을 기초과학적 관점에서 추가하였으므로 연조가 깊은 책이면서도

새로운 기술서로 손색이 없으리라 자부한다. 

제1부. 박막과 그 응용

1장 박막재료
2장 박막의 형성과 평가
3장 스퍼터 프로세스에서의 흥미로운 현상

제2부. 스퍼터의 기초와 응용

4장 스퍼터의 기초
5장 스퍼터 장치와 동작 특성
6장 화합물 박막과 스퍼터 증착
7장 박막 구조의 정밀 재료와 나노미터 재료

부록
1. 박막 실험의 기본 기법 · 325
2. 진공 · 박막 관련 재료기술 자료 · 330

찾아보기 · 345

초판을 출판하였을 당시, 일렉트로닉스 분야에서 박막재료는 반도체 IC를 제외한다면 산업기술로서 높은 
관심의 대상이 되지 못하였던 것이 사실이다. 그러나 초판을 출판한 후에 박막은 디스플레이와 메모리 
디스크 등, 반도체 IC 의외의 일렉트로 닉스 분야에서도 중요한 관심사가 되었다. 
초판이나 혹은 개정판 2판을 박막기술의 입문서로 구독한 연구자들은 이미 이 분야의 전문가로 활 약하고
있으리라 믿는다. 그러한 분들의 입장에서 본다면 박막화 기술은 낡은 옛 기술로 간주될 수도 있을 것이다.
하지만 제2판 출판 이후 최근 몇 년을 되돌아보면, 원자 스케일의 재료기술을 특징으로 하는 박막은 나노 
스케일 재료 · 디바이스 형성의 요 소 기술로 자리 잡았고, 특히 21세기를 맞이하여서는 일렉트로닉스와 
환경 분야에서 그 중요성이 더욱 높게 평가되고 있다. 또 초판이 발행되 었을 당시에는 박막에 관한 책들이
별로 많지 않았지만, 최근에는 이 분야에서 많은 양서들이 출판되고 있다. 그러나 대부분의 도서들이 기초 
적인 교과서이거나 혹은 실용서이고, 기초와 실용을 횡단적으로 서술한 도서는 찾아보기 어려운 것이 사실이다.
이 개정판은 저자들의 최근 요꼬하마 시립대학 대학원에서 박막화 기술교육에 종사한 경험과 40년에 걸친 
박막 연구를 종합한 것이다. 개정한 내용은, 제2판에다 최근의 박막기술을 기초과학적 관점에서 추가하였
으므로 연조가 깊은 책이면서도 새로운 기술서로 손색이 없으리라 자부한다. 앞으로 젊은 연구자들이 이 
도서에 기재되어 있는 사례를 참고로 활용할 뿐만 아니라, 이 책에 실린 사례들을 바탕으로 더욱 새로운 
연구를 전개하기를 기대하며, 끝으로 개정판 출판에 협력해주신 여러분들의 격려에 깊은 감사를 드린다.